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中国电科38所研发出芯片“体检”神器 ——超级针X射线成像系统

2019-03-09 16:19

  10月31日,中国电子科技集团公司第38研究所在第92届中国(上海)电子展举行新产品发布会,隆重发布了一款由该所自主研制的新一代无损检测设备——超级针X射线成像系统,该系统分辨率小于1微米,相当于人类发丝的百...

  本报讯(安徽商报融媒体记者胡霈霖)10月31日,中国电子科技集团公司第38研究所在第92届中国(上海)电子展举行新产品发布会,隆重发布了一款由该所自主研制的新一代无损检测设备超级针X射线成像系统,该系统分辨率小于1微米,相当于人类发丝的百分之一,专为芯片做“体检”。

  微焦点X射线成像系统是工业无损检测的常规必备设备,广泛应用于集成电路、电子器件、印刷电路板、传感器等各种器材的无损检测。但随着集成电路进一步向高集成度、微型化发展,先进封装工艺对封装检测设备提出了新的需求和挑战。一方面,更精细的封装尺度要求设备分辨率提升至亚微米级,另一方面,随着芯片制造及封装过程中越来越多地使用硅、铝、铜、陶瓷等轻元素材料,对轻元素材料的检测需求日益凸显,对设备检测范围提出了更高要求。因此,更高分辨率、更高对比度、更大检测范围的X射线检测设备已成为集成电路封装检测行业急需,以解决当前看不清、看不见等问题。超级针X射线成像系统的首次亮相,将有望改变这一现状。

  中国电科38所研发团队经过近十年技术攻关,成功将超级针射线源应用于微焦点X射线成像系统,开发了“源”创产品。超级针X射线微米(相当于人类发丝的百分之一),成像清晰,性能稳定,它还具备较强的低能成像能力,使其在硅、铝、铜、陶瓷等轻元素材料的精密检测方面优势明显。目前,中国电科38所针对该产品,已申请30余项国内外发明专利,其中申请美、日、欧等国际专利12项。

  中国电科38所相关负责人表示,基于超级针X射线源技术,可面向集成电路、军工航天、汽车电子、医疗诊断、文物保护等不同应用领域,开发系列超级针X射线成像设备,实现产品系列化、多样化开发,未来具有较大的发展前景。



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